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        德国 ADL 直流溅射电源 GX 50–GX 150

            

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        品牌ADL 有效期至长期有效 最后更新2022-05-30 17:33
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        德国 ADL 直流溅射电源 GX 50–GX 150

        产品介绍
        郭浪
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        邮件:sales16@handelsen.cn
        郭浪邮箱:sales16@handelsen.cn电话:010-64714988-196 郭浪微信二维码
        直流溅射电源GSW 100–GSW 300
        可同时运行至240kW,可增加输出功率。有了特殊的电路概念,"主奴隶布线"可以免除。即使在非空调客房,高效的水冷却也可确保最大的可靠性。
        这些设备可以通过活动前面板或界面手动操作。提供各种前面板和接口???。极快的弧形处理完全自动工作,即使在并行操作中也不需要外部同步。
        输出功率10-30kW
        水冷却
        19"住房, 3 U
        电磁阀控制
        无潜力输出
        并行运行至240kW
        自动弧形处理
         
        直流溅射电源GX 50–GX 150
        GX 溅射电源能够自动擦除高达每秒 80,000 个弧。极端性能,加上小尺寸,是GX系列的突出标志。
        这些设备可以全额定功率运行,不受切换时间的限制,也可以并行连接。
        输出功率5-15kW
        水冷却
        1/2 19" 住房, 3U
        无潜力输出
        焦耳时尚
        自动弧形处理
         
        直流溅射电源 HX 150 - HX 300
        1/2 19"宽度和5U的极其紧凑的设计是专门为生产工厂开发的,其中将不配用控制柜。HX 具有安装选项卡,可直接集成到任何安装位置的系统中。
        显示屏是旋转的,可以从设备中分离出来。即使在非空调客房,高效的水冷却也可确保最大的可靠性。为了避免凝结,可以通过集成温度控制连接外部电磁阀。
        可同时运行至240kW,可增加输出功率。特殊的电路概念允许主奴隶操作和并行控制通过界面组合或Provibus。极快的弧形处理完全自动工作,因此无需设置参数。
        输出功率 15kW 至 30kW
        并行运行至240kW
        水冷却
        电磁阀控制
        带灰尘颗粒分离器的住房通风
        1/219" 住房, 5U
        法兰格紧固件
        M8 女线起重机小眼
        可拆卸旋转显示屏
        自动弧形处理
         
        离子源电源
        对于离子源(考夫曼和ECR)的操作,提供各种特殊设备,也可以根据要求提供其他输出电压或服务。
        所有设备均可选择配备模拟接口或与 Profibus 连接。
         
        脉冲发生器、选项和配件
        PULSE 发电机 RD 300 与大多数 ADL 电源一起,按照共振开关原理工作。由于效率极高(30kW时为99.5%),该设备非常紧凑,只能产生最大150W的低耗电量。
        现有系统可以很容易地进行改装,因为发电机与直流电源并行直接连接到阴极。该设备的工作频率为 2kHz。但是,使用外部信号发生器,频率可在 0.2 到 3kHz 之间变化。几个发电机可以通过控制线进行自动同步连接。
        单极脉冲发生器 SD 30、SD 150 和 SD 300
        脉冲发生器与ADL直流电源一起生成单极脉冲。这些设备的固定频率为 20kHz。使用外部信号发生器,频率变化范围从 1kHz 到 40kHz 不等。发电机具有自动电弧抑制。
        行程级别和中断时间的参数会自动适应相应的过程。不需要用户通常的编程。几个发电机可以通过控制线进行同步连接。设备自动切换到外部同步。
        输出功率 3 千瓦,15 千瓦,30 千瓦
        并行运行至240千瓦
        自动弧形处理
        无潜力输出
        自动同步
        空气
        非常紧凑的设计
        法兰格紧固件
         
        中频和双极脉冲发生器 SB 300
        双极脉冲发生器 SB 300 既可用作中频发生器,以生成平衡交替电流,也可用于非对称方脉冲的双极脉冲器。通过特殊的功率商控制,双磁子的目标寿命可以精确对称。
        两种不同的目标材料也可以用不对称的脉冲能力进行控制。Qotienten 控制器通过脉冲宽度调制 (PWM) 自动设置脉冲时间。该设备的固定频率为 20kHz。发电机具有自动电弧抑制。
        行程级别和中断时间的参数会自动适应相应的过程。不需要用户通常的编程!几个发电机可以通过控制线进行同步连接。设备自动切换到外部同步。
        输出功率 30kW,交流电
        主/奴隶或并行操作中的设备组合,最高可达 240kW
        比率功率控制器
        自动同步
        水冷却
        非常紧凑的设计
        无潜力输出
        ??榛低吃市?HX (DC) 与单极脉冲发生器 (SD) 或双极脉冲发生器 (SB) 的组合
        紧凑型 1/2 19" 设计
        双极脉冲发生器与PWM控制保证绝对对称溅射!
        卓越的超高速和全自动弧形管理
        过程可重复性:优于 1-2%
         
        主要型号
        ADL GG03
        ADL GIP10
        ADL GG12
        ADL Profibus 2.547
        ADL GS 05 – GS 30
        ADL GS 60 – GS 150
        ADL GSW 100 – GSW 300
        ADL GX 50 – GX 150
        ADL HX 150 – HX 300
        ADL SD 30
        ADL SD 150
        ADL SD 300
        ADL SB 300
        ADL GSW 100/500
        ADL GSW 100/800
        ADL GSW 150/400
        ADL GSW 150/500
        ADL GS 60/800
        ADL GS 80/800
        ADL GSW 200/1000
        ADL GX 50/800
        ADL GX 60/800
        ADL HX 150/400
        ADL HX 150/500
        ADL HX 150/800
        ADL HX 150/1000
        ADL HX 200/800
        ADL GP 10/800
        ADL GP 15/800 
        ADL GP 20/800
        ADL GP 30/800
        ADL GP 30/1000
        ADL GP 60/800
        ADL GP 100/800
        ADL GP 120/800
        ADL GP 150/800
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